https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448560
標題: | Modeling gas damping and spring phenomena in MEMS with frequency dependent macro-models | 作者: | Yang, Y.-J. Kamon, M. Rabinovich, V.L. Ghaddar, C. Deshpande, M. Greiner, K. Gilbert, J.R. YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | 365-368 | 來源出版物: | IEEE Micro Electro Mechanical Systems | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448560 | DOI: | 10.1016/B978-008043944-0/50933-1 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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