https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451452
標題: | Optical scatterometry system for detecting specific line edge roughness of resist gratings subjected to detector noises | 作者: | Lee, Y.-M. Li, J.-H. Wang, F.-M. Cheng, H.-H. Shen, Y.-T. Tsai, K.-Y. Shieh, J.J. KUEN-YU TSAI JIA-HAN LI |
公開日期: | 2014 | 卷: | 16 | 期: | 6 | 來源出版物: | Journal of Optics (United Kingdom) | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451452 | DOI: | 10.1088/2040-8978/16/6/065706 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。