https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451461
標題: | Void-based photonic crystal mirror with high reflectivity and low dissipation for extreme-ultraviolet radiation | 作者: | Lee, Y.-M. Li, J.-H. KUEN-YU TSAI JIA-HAN LI |
公開日期: | 2013 | 卷: | 12 | 期: | 4 | 來源出版物: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451461 | DOI: | 10.1117/1.JMM.12.4.043005 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。