https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451908
標題: | Surface property study of different patterning sapphire structures by ICP-RIE | 作者: | Chang, C.-M. Shiao, M.-H. Chiang, D. Huang, M.-J. Yang, C.-T. Hsueh, W.-J. WEN-JENG HSUEH |
公開日期: | 2013 | 起(迄)頁: | 372-375 | 來源出版物: | 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451908 | DOI: | 10.1109/NEMS.2013.6559754 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
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