https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486050
標題: | The characteristic of abrasive particle in chemical-mechanical polishing | 作者: | Tsai, H. J. Chang, C. C. Jeng, Y. R. Chen, S. L. CHIEN-CHENG CHANG |
公開日期: | 2006 | 起(迄)頁: | 805-810 | 來源出版物: | Progress on Advanced Manufacture for Micro/Nano Technology 2005, Pt 1 and 2 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486050 | ISBN: | 978-0-87849-990-8 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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