https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486167
標題: | Generating high DOF light by using tapered hollow tube in a lithography system | 作者: | Chen, C.-Y. Lee, Y.-H. Chien, C.-J. Yu, Y.-Y. CHIH-KUNG LEE |
公開日期: | 2012 | 卷: | 8249 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486167 | DOI: | 10.1117/12.906722 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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