https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486262
標題: | Etching submicrometer trenches by using the Bosch process and its application to the fabrication of antireflection structures | 作者: | Chang, C. Wang, Y.-F. Kanamori, Y. Shih, J.-J. Kawai, Y. Lee, C.-K. Wu, K.-C. KUANG-CHONG WU CHIH-KUNG LEE |
公開日期: | 2005 | 卷: | 15 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 580-585 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486262 | DOI: | 10.1088/0960-1317/15/3/020 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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