https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486855
標題: | Applied electrostatic parallelogram actuators for microwave switches using the standard CMOS process | 作者: | Dai, C.-L. Yen, K. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 2001 | 卷: | 11 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 697-702 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486855 | DOI: | 10.1088/0960-1317/11/6/311 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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