https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486865
標題: | High aspect-ratio fine-line metallization | 作者: | Chang, C. Chang, P. Yen, K. SHEY-SHI LU PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 1998 | 卷: | 3511 | 起(迄)頁: | 357-363 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486865 | DOI: | 10.1117/12.324322 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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