https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486870
標題: | Micro electrode array - A new method for the design of electrostatic micro actuators and capacitive micro sensors | 作者: | Chang, C.L. Chang, P.Z. Huang, R.S. Chang, C.P. Cheng, M.C. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 1997 | 卷: | 3242 | 起(迄)頁: | 145-156 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486870 | DOI: | 10.1117/12.293542 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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