https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/490327
標題: | The implementation of neural network for semiconductor PECVD process. | 作者: | Chen, Wen-Chin Lee, Amy H. I. Deng, Wei-Jaw Liu, Kan-Yuang WEN-CHIN CHEN |
公開日期: | 2007 | 卷: | 32 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 1148-1153 | 來源出版物: | Expert Syst. Appl. | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/490327 | DOI: | 10.1016/j.eswa.2006.02.013 |
顯示於: | 資訊工程學系 |
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