https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491329
標題: | Thermal-flow techniques for sub-35 nm contact-hole fabrication using Taguchi method in electron-beam lithography | 作者: | Li, T.-S. Chen, S.-H. Chen, H.-L. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 86 | 期: | 11 | 起(迄)頁: | 2170-2175 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491329 | DOI: | 10.1016/j.mee.2009.03.049 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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