https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491352
標題: | Fabrication of nanoscale PtO<inf>x</inf>/PZT/PtO<inf>x</inf> capacitors by e-beam lithography and plasma etching with photoresist mask | 作者: | Huang, C.-K. Chen, Y.-H. Liang, Y.-C. Wu, T.-B. Chen, H.-L. Chao, W.-C. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2006 | 卷: | 9 | 期: | 3 | 來源出版物: | Electrochemical and Solid-State Letters | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491352 | DOI: | 10.1149/1.2162339 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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