https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491378
標題: | Thermal-flow techniques for sub-35 nm contact-hole fabrication in electron-beam lithography | 作者: | Chen, H.L. Chen, C.H. Ko, F.H. Chu, T.C. Pan, C.T. Lin, H.C. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 20 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 2973-2978 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491378 | DOI: | 10.1116/1.1526352 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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