https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491379
標題: | Low alkaline contamination bilayer bottom antireflective coatings in F<inf>2</inf> excimer laser lithography | 作者: | Chen, H.L. Chuang, Y.F. Lee, C.C. Ko, F.H. Hsieh, C.I. Huang, T.Y. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 5 | 期: | 9 | 來源出版物: | Electrochemical and Solid-State Letters | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491379 | DOI: | 10.1149/1.1498969 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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