https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498755
標題: | Structural differences between deuterated and hydrogenated silicon nitride/oxynitride | 作者: | Shih, A. Yeh, S.-H. Lee, S.-C. Yang, T.R. SI-CHEN LEE |
公開日期: | 2001 | 卷: | 89 | 期: | 10 | 起(迄)頁: | 5355-5361 | 來源出版物: | Journal of Applied Physics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498755 | DOI: | 10.1063/1.1364645 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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