https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498860
標題: | Fabrication of polysilicon thin-film transistors using nickel/copper double-layer-induced lateral crystallization | 作者: | Chen, C.-C. Yang, B.-C. Lee, S.-C. SI-CHEN LEE |
公開日期: | 2005 | 卷: | 23 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 513-518 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498860 | DOI: | 10.1116/1.1875312 |
顯示於: | 電機工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。