https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/502126
標題: | High Throughput UHV/CVD SiGe and SiGe:C Process for sige HBT and strained Si FET | 作者: | CHEE-WEE LIU Chen, P.S. Tseng, Y.T. Tsai, M.-J. CHEE-WEE LIU |
公開日期: | 2002 | 起(迄)頁: | 145-148 | 來源出版物: | 2002 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop, SMTW 2002 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/502126 | DOI: | 10.1109/SMTW.2002.1197395 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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