https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546677
標題: | Sub-nanometer heating depth of atomic layer annealing | 作者: | Lee, W.-H. Kao, W.-C. Yin, Y.-T. Yi, S.-H. Huang, K.-W. Lin, H.-C. Chen, M.-J. HSIN-CHIH LIN MIIN-JANG CHEN |
公開日期: | 2020 | 卷: | 525 | 來源出版物: | Applied Surface Science | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85084647526&partnerID=40&md5=8a49f9c3f21dc832c6306de752af261e https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546677 |
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2020.146615 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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