https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546893
標題: | A Temperature-Insensitive CMOS-MEMS Resonator Utilizing Electrical Stiffness Compensation | 作者: | Liu, J.-R. Li, W.-C. WEI-CHANG LI |
公開日期: | 2019 | 卷: | 2019-January | 起(迄)頁: | 161-164 | 來源出版物: | Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85074350336&partnerID=40&md5=ea7e929adf360edd258e3e62d6ce4114 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546893 |
DOI: | 10.1109/MEMSYS.2019.8870843 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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