https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587646
DC 欄位 | 值 | 語言 |
---|---|---|
dc.contributor.author | 楊宏智 | en_US |
dc.contributor.author | 鄭偉祥 | en_US |
dc.contributor.author | 陳鯤仁 | en_US |
dc.contributor.author | 蕭啟明 | en_US |
dc.contributor.author | HONG-TSU YOUNG | en_US |
dc.date.accessioned | 2021-11-22T09:11:34Z | - |
dc.date.available | 2021-11-22T09:11:34Z | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.uri | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587646 | - |
dc.language | zh-TW | - |
dc.relation.ispartof | 第25屆全國機械工程研討會 | - |
dc.title | 化學機械拋光鑽石修整器修整率模式與工業上的應用 | zh_TW |
dc.type | conference paper | en |
dc.relation.pages | 19-23 | - |
item.openairetype | conference paper | - |
item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | - |
item.fulltext | no fulltext | - |
item.grantfulltext | none | - |
item.cerifentitytype | Publications | - |
crisitem.author.orcid | 0000-0002-8866-7648 | - |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。