https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/589599
標題: | A study of the characteristics of the diamond dresser in the CMP process | 作者: | Y.S. Liao P.W. Hong C.T. Yang YUNN-SHIUAN LIAO |
公開日期: | 2004 | 卷: | 257-258 | 起(迄)頁: | 274-280 | 來源出版物: | Key engineering materials | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/589599 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。