https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/590707
標題: | Local stress determination in shallow trench insulator structures with one side and two sides pad SiN layer by polarized micro-Raman spectroscopy extraction and mechanical modelization | 作者: | M. H. Liao MING-HAN LIAO |
公開日期: | 2009 | 起(迄)頁: | 093511-093513 | 來源出版物: | J. Appl. Phys | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/590707 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。