https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/60063
標題: | A novel fabrication method for suspended high-aspect-ratio MEMS structures | 作者: | Kuo, Wen-Cheng Yang, Yao-Joe |
公開日期: | 六月-2005 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/200704191001389 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/SENSOR.2005.1497274 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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