https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/67320
標題: | Application of soft landing to the process control of chemical mechanical polishing | 作者: | Chiu, Jian-Bin Yu, Cheng-Ching Shen, Shih-Haur |
公開日期: | 2003 | 卷: | 65 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 345-356 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/93200 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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