https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/69948
標題: | A Single-run Single-mask ICP-RIE Process for Fabricating Suspended High-Aspect-Ratio MEMS Structures | 作者: | Yang, Y.-J. Fan, K.-C. Kuo, W.-C. |
公開日期: | 一月-2006 | 卷: | 45 | 期: | 1a | 起(迄)頁: | 305-310 | 來源出版物: | Japanese Journal of Applied Physics | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/217251 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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