https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70271
標題: | In-situ Monitoring of Silicon Membrane Thickness during Wet Etching Using a SAW Sensor | 作者: | Lee, C.-Y. Cheng, Y.-C. Wu, T.-T. Chen, Y.-Y. Chen, W.-J. Pao, S.-Y. Chang, P.-Z. Chen, Ping-Hei |
公開日期: | 六月-2004 | 卷: | 43 | 期: | 6a | 起(迄)頁: | 3611-3617 | 來源出版物: | Japanese Journal of Applied Physics | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/222364 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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