https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70287
標題: | A Novel Method for Evaluating the Thickness of Silicon Membrane Using a Micromachined Acoustic Wave Sensor | 作者: | Lee, C.-Y. Cheng, Y.-C. Wu, T.-T. Chen, Y.-Y. Chen, W.-J. Pao, S.-Y. Chang, P.-Z. Chen, P.-H. Yen, K.-H. Xiao, F.-Y |
公開日期: | 2004 | 卷: | 7 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 61-66 | 來源出版物: | Tamkang Journal of Science and Engineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/222392 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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