https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70599
標題: | Surface Integrity of Silicon Wafer in Ultra Precision Machining | 作者: | Young, H.T. Liao, H.T. |
公開日期: | 一月-2007 | 卷: | 29 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 372-378 | 來源出版物: | Int. J. of Adv. Manuf. Technology | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/222944 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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