https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70649
標題: | Feasibility study of modular-based 300 mm IC fabrication facilities | 作者: | Hsieh, S. Hung, C.-R. |
公開日期: | 2004 | 卷: | 15 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 233-244 | 來源出版物: | Journal of Intelligent Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/223032 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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