https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70934
標題: | Spatial Variance Spectrum Analysis and Its Application to Unsupervised Detection of Systematic Wafer Spatial Variations | 作者: | Blue, Jakey JAKEY BLUE |
公開日期: | 2011 | 起(迄)頁: | 56-66 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Automation Science and Engineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/244198 | DOI: | 10.1109/TASE.2010.2041775 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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