https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/75017
標題: | Influence of the mask magnification on imaging in hyper-NA lithography | 作者: | Lin, Chun-Hung Chen, Hsuen-Li Ko, Fu-Hsiang |
公開日期: | 2007 | 卷: | Vision | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 1633-1640 | 來源出版物: | Journal of the Optical Society of America A-Optics Image Science and | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/95628 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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