https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/79185
Title: | (100)矽材環式微陀螺儀之研製 Fabrication of (100) silicon ring-type micromachined gyroscope |
Authors: | 王榮輝 Wang, Jung-Hui |
Keywords: | 圓環振動;陀螺儀;陽極接合;電感藕合電漿;ring;gyroscope;acodic;ICP | Issue Date: | 2005 | Abstract: | 本文以環式微陀螺儀之製造為研究主題,環式微陀螺儀擁有體積小、重量輕、可大量製造降低成本、感測性高與低耗功率等優點。在此使用了微機電製程中的體型微加工與乾式深蝕刻技術,製作出可懸浮且具有高厚度之圓環振動結構。此外,並採取三組新穎支撐架結構來支撐圓環,且在電極區上再多添加次要電極設計,藉此來提高環式陀螺儀之靈敏度。 主要是利用(100)矽晶片與7740玻璃來製作,先以7740玻璃藉由BOE蝕刻出基座結構,再使用陽極接合法將7740玻璃與矽晶片接合,最後以ICP高密度電漿蝕刻矽晶片製作出可懸浮之圓環結構,來完成5mmX5mmX150μm之環式微陀螺儀元件,其中元件結構中最小之gap為5μm,深寬比約為30。 然而,實驗前之光罩尺寸設計與規劃,以及對於製造過程中疑點之思考與解決,也都極具重要性,為了達成以感測、分析與控制之終極目標下,在其尺寸設計與解決方法皆會有其限制,本文提供了第一階段之經驗與成果,以期能透過後續研究來使環式微陀螺儀之研製能更完善。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/62398 | Other Identifiers: | zh-TW |
Appears in Collections: | 應用力學研究所 |
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