https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/80464
標題: | 具網路結合功能之半導體製造集結式機台(子計畫三):網路式量測單元之開發:橢偏儀介面及遠端使用者介面(3/3) | 作者: | 李世光 | 關鍵字: | 半導體製造集結式機台;橢偏儀 | 公開日期: | 31-七月-2001 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學應用力學研究所 | 摘要: | 本子計畫於第一年已完成先期建構橢 偏儀介面及遠端使用者介面之階段目標, 並 於第二年研發試製低成本之微型橢偏儀,同 時完成可與半導體製造集結式機台整合之橢 偏儀軟硬體設計與製作,並於第三年的研究 中進一步的改進了橢偏儀的功能,順利完成 自我校正轉換函數的測量,且於系統上完成 修改光學調校機構與光學調校方法以方便進 行薄膜特性的測量,目前橢偏參數的測量結 果部分取得具體的成果。計劃成果為全球首 次解決於半導體製造集結式機台運用可變入 射角入射光進行橢偏儀檢測時所遭遇問題之 方法。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21616 | 其他識別: | 892218E002053 | Rights: | 國立臺灣大學應用力學研究所 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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892218E002053.pdf | 388.1 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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