https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/80815
標題: | 無鏡頭式超音波顯微鏡系統的開發與應用(3/3) Development and Application of Lens-less Acoustic Microscope |
作者: | 郭茂坤 | 關鍵字: | 無鏡頭式超音波顯微鏡;非破壞 檢測;Lens-Less Acoustic Microscope;Non-Destructive Evaluation | 公開日期: | 31-七月-2002 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學應用力學研究所 | 摘要: | 由於超音波之穿透特性,以及超音波 訊號與待測物體之機械性質有關之特性, 使得高頻超音波顯微鏡,成為光學顯微鏡 和電子顯微鏡之外,另一個可用以暸解微 觀尺寸物體的工具。超音波顯微鏡可直接 用以解析物體(不論透光與否)內部之結 構,如晶粒大小、晶體缺陷、孔隙比、為 裂縫....等;同時,若將超音波顯微鏡所量 測得之V(z) 曲線,與理論計算結果比 較,則超音波顯微鏡具有量測微小物體彈 性常數、密度、黏滯性....等機械性質的潛 力。 由於超音波之穿透特性,以及超音波訊號 與待測物體之機械性質有關之特性,使得 高頻超音波顯微鏡,成為光學顯微鏡和電 子顯微鏡之外,本計畫擬以三年時間,發 展無鏡頭式超音波顯微鏡,同時發展殘餘 應力的波動理論,藉以開發量測微小電子 元件的材料常數及殘餘應力的技術及系 統。第一期計畫,主要工作為研製線聚焦 及點聚焦的無鏡頭式超音波顯微鏡探頭, 以開發整個量測系統。本年度為第二期主 要係理論推導及數值模擬。 with the elastic properties of the material through which they propagate. By using the acoustic fields to form an image, one can study the spatial variations in these properties directly. The acoustic microscope thus provides a unique capability for investigating aspects of material that are not revealed by either the light or electron microscopes, but require a comparison of the acoustic signal measured by the microscope with corresponding theoretical calculations. In this three-years’ project, we propose to develop a lens-less acoustic microscope system, and develop theory and technique to measure the material constants as well as residual stresses of electronic elements by the system. The proposed works of this first project-year are to fabricate both line-focus and point-focus lens-less acoustic microscope transducers. |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21644 | 其他識別: | 902212E002194 | Rights: | 國立臺灣大學應用力學研究所 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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