https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/81515
標題: | A Method Using V-Groove to Monitor the Thickness of Silicon Membrane with Micrometer Resolution | 作者: | Chang, Pei-Zen Yang, Lung-Jieh |
公開日期: | 九月-1998 | 期: | 8 | 起(迄)頁: | 182-187 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/198053 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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