https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/82218
標題: | Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS | 作者: | Lee, C. K. Wu, James G. Y. |
公開日期: | 八月-2000 | 起(迄)頁: | 120-E | 來源出版物: | Transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/218012 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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