https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/82275
標題: | Economic Analysis and Optimization of Tool Portfolio in Semiconductor Manufacturing | 作者: | Chou, Yon-Chun Wu, Chuan-Shun |
公開日期: | 2002 | 卷: | 15 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 447-453 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/127933 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
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