公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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2018 | 先進製程缺陷檢測設備及性能測試標準樣本製作技術 | 李建霖; 蔡坤諭; 錢盛偉; KUEN-YU TSAI | 機械工業雜誌 | |||
2018 | 先進製程缺陷檢測設備性能測試標準樣本製作技術 | 李建霖; 蔡坤諭; 錢盛偉; KUEN-YU TSAI | ||||
2007 | 多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫三:多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發 | 蔡坤諭 | ||||
2008 | 多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫三:多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發(I) | 蔡坤諭 | ||||
2019 | 極紫外光微影光罩檢測技術 | 蔡坤諭; 李建霖; 錢盛偉; KUEN-YU TSAI | ||||
2018 | 極紫外光微影光罩檢測技術 | 蔡坤諭; 李建霖; 錢盛偉; KUEN-YU TSAI | 機械工業雜誌 | |||
2008 | 次世代微影技術發展現況與展望:極紫外光光罩檢測技術之現況與展望 | 蔡坤諭 | 電子月刊 | |||
2008 | 深次微米IC設計,製造,與測試之半導體工程鏈研究-子計畫三:最佳化整合設計、製造和測試以提升大型積體電路的良率與性能(I) | 蔡坤諭 | ||||
2019 | 聚焦氦離子束微影與鄰近效應修正技術 | 李建霖; 蔡坤諭; 錢盛偉; KUEN-YU TSAI | 機械工業雜誌 | |||
2013 | 讓摩爾定律成真的關鍵:微影技術 — 影響七十億以上個未來 | 劉俊宏; 余浩澐; 蔡坤諭; KUEN-YU TSAI | ||||
2007 | 適用32奈米以下製程之高產能、低成本平行寫入無光罩微影技術初步研究 | 蔡坤諭 |