公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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2014 | Optical scatterometry system for detecting specific line edge roughness of resist gratings subjected to detector noises | Lee, Y.-M.; Li, J.-H.; Wang, F.-M.; Cheng, H.-H.; Shen, Y.-T.; Tsai, K.-Y.; Shieh, J.J.; KUEN-YU TSAI ; JIA-HAN LI | Journal of Optics (United Kingdom) | 0 | 0 |