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NTU Scholars
研究成果檢索
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Lin, Shiming
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公開日期
標題
作者
來源出版物
scopus
WOS
全文
2009
整合次波長圓環型孔洞與準分子雷射開發高深寬比光學鑽孔儀的先導性研究:以三維積體電路矽導通孔為應用平台
王筑顗; Wang, Chu-Yi