公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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1999 | Deposition of silicon carbon nitride films by ion beam sputtering | Wu, J. J.; Wu, C. T.; Liao, Y. C.; Lu, T. R.; Chen, L. C.; Chen, K. H.; Hwa, L. G.; Kuo, C. T.; YING-CHIH LIAO ; LI-CHYONG CHEN | Thin Solid Films | 40 | 40 |