Project title/計畫英文名
促進產學合作先導型研究計畫/工學院/基於微機電系統技術之高產能多電子束平行寫入微影系統之研發
Project Number/計畫編號
95R0202
Translated Name/計畫中文名
促進產學合作先導型研究計畫/工學院/基於微機電系統技術之高產能多電子束平行寫入微影系統之研發
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2006
Expected Completion/計畫迄
31-07-2007