Project title/計畫英文名
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫三:直寫式極紫外光微影系統快門製作與系統整合
Project Number/計畫編號
98-2221-E-002-165-MY3
Translated Name/計畫中文名
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫三:直寫式極紫外光微影系統快門製作與系統整合
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2010
Expected Completion/計畫迄
31-07-2011