Project title/計畫英文名
半導体製程設備中晶圓傳送盒之鎖合機構概念設計
Project Number/計畫編號
91-2212-E002-083
Translated Name/計畫中文名
半導体製程設備中晶圓傳送盒之鎖合機構概念設計
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2002
Expected Completion/計畫迄
31-07-2003