Project title/計畫英文名
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五:多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Project Number/計畫編號
95-2221-E-002-310-MY3
Translated Name/計畫中文名
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五:多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2008
Expected Completion/計畫迄
31-07-2009