Project title/計畫英文名
先進大氣電漿輔助化學氣相鍍膜系統的研發-子計畫二:AP-PECVD系統之關鍵流場模擬分析
Project Number/計畫編號
104-2221-E-002-022-MY2
Translated Name/計畫中文名
先進大氣電漿輔助化學氣相鍍膜系統的研發-子計畫二:AP-PECVD系統之關鍵流場模擬分析
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2015
Expected Completion/計畫迄
31-07-2016