Project title/計畫英文名
半導體產業空氣污染控制技術研發-空氣離子化技術控制半導體產業揮發性有機化
Project Number/計畫編號
91-2211-E002-053
Translated Name/計畫中文名
半導體產業空氣污染控制技術研發-空氣離子化技術控制半導體產業揮發性有機化
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2002
Expected Completion/計畫迄
31-07-2003