Project title/計畫英文名
積體電路相容微機電系統之研究-子計畫四:積體電路相容微機電關鍵技術之研究(I)
Project Number/計畫編號
92-2212-E-002-092-
Translated Name/計畫中文名
積體電路相容微機電系統之研究-子計畫四:積體電路相容微機電關鍵技術之研究(I)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2003
Expected Completion/計畫迄
31-07-2004