Project title/計畫英文名
矽新型元件及模組技術研發(2/3)-子計畫一:超薄膜層氧化技術在矽元件之應用
Project Number/計畫編號
91-2120-E002-002
Translated Name/計畫中文名
矽新型元件及模組技術研發(2/3)-子計畫一:超薄膜層氧化技術在矽元件之應用
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2002
Expected Completion/計畫迄
31-07-2003